大口径精密光学元件质量检测装置

• 作者: 刘长春 徐旭 楚红雨 米曾真 袁晓东 谢志江
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 精密光学元件 暗场成像 图像处理 激光惯性约束聚变 线阵CCD 三维平移台
• 年，卷（期）: 2012,（4）
• 页码范围: 321-325
• 分类号: TB96
• 字数: 3795字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2012.04.08

摘要

针对精密光学元件表面缺陷检测效率低、大口径元件不便于检测问题,设计了一种应用于大型激光装置的大口径光学元件缺陷检测装置.通过强光手电筒、LED灯及高亮度卤素灯3种光源对40 mm×40 mm的K9样片暗场成像对比实验,得知光照强度最大的卤素灯光源检测效果最佳.研究了基于线阵CCD扫描的三维电控平移台的运动机理,确保高精度图像的采集.在此基础上,分析了图像区域定位、二值化处理、缺陷的检测等关键技术,实现了元件的高精度、实时在线检测.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谢志江	重庆大学机械传动国家传动重点实验室	159	1375	19.0	29.0
2	袁晓东	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	114	624	13.0	17.0
3	徐旭	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	9	51	3.0	7.0
4	刘长春	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	14	44	5.0	6.0
5	楚红雨	重庆大学机械传动国家传动重点实验室	8	63	4.0	7.0
6	米曾真	重庆大学机械传动国家传动重点实验室	4	45	4.0	4.0