低气压、弱电离条件下氢气直流放电反应的模拟分析

• 作者: 刘竞业 王刚 高媛
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 氢气 直流放电 弱电离 等离子体 反应
• 年，卷（期）: 2012,（2）
• 所属期刊栏目: 真空应用
• 页码范围: 96-100
• 分类号: TN132|TB71+7
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2012.02.023

摘要

以等离子体放电理论为基础,依据电子密度连续性方程,电子通量方程,电子能密度连续性方程,以及电子能通量表达式,分别运用有限元法和有限时域差分法,针对氢气直流放电过程的21种碰撞反应类型进行模拟分析.确定了氢气放电所涉及的21种反应类型,在低气压、弱电离条件下仅有11种反应对过程的进行起到有效作用.所得模拟结果与实验测试结果一致.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘竞业	北京化工大学理学院物理学与电子科学系	17	82	5.0	8.0
2	王刚	北京化工大学理学院物理学与电子科学系	11	80	4.0	8.0
3	高媛	北京化工大学理学院物理学与电子科学系	4	5	1.0	1.0