基于彩色共焦的位移测量系统研究

• 作者: 牛春晖 邓文怡 高鑫
• 来源期刊: 光学技术
• 学科: 工学
• 关键词: 光学测量 位移测量 彩色共焦 光谱编码
• 年，卷（期）: 2012,（1）
• 所属期刊栏目: 光学测量
• 页码范围: 83-88
• 分类号: O439|TP212
• 语种: 中文

摘要

为实现小型化、非接触式、快速高精度的位移测量,设计并搭建了基于光学彩色共焦原理的位移测量系统.系统中数据拟合采用的方法是,对光谱响应函数极值周围的数据进行高斯叠加拟合,以获得光谱响应曲线的峰值,从而得到峰值所对应的波长.经过实验验证,系统的测量范围为2mm,测量精度可以达到10μm,线性度为3.4％,光谱响应的半高宽(FWHM)为49nm.因此能够满足一定精度的位移测量需求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	牛春晖	北京信息科技大学光电信息与通信工程学院	57	146	7.0	10.0
2	邓文怡	北京信息科技大学光电信息与通信工程学院	26	245	8.0	15.0
3	高鑫	北京信息科技大学光电信息与通信工程学院	4	11	2.0	3.0