MOEMS三分量加速度地震检波器简谐振子设计

• 作者: 冯捷逾 张宁波 恩德
• 来源期刊: 量子电子学报
• 学科: 工学
• 关键词: 纤维与波导光学 简谐振子 M-Z干涉仪 光弹效应 三分量
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 所属期刊栏目: 激光应用
• 页码范围: 362-367
• 分类号: TN4
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-5461.2012.03.018

摘要

采用惯性力与简谐振子相垂直及差动检测技术的方法,设计基于光弹效应的三分量加速度地震检波器简谐振子,对于简谐振子中的双M-Z干涉仪而言,光功率的均分和光的单模传输是实现正确检测加速度的基础.介绍了M-Z干涉仪的结构和工作原理.用波导光学模拟软件OptiBPMv9.0对双M-Z干涉仪光场传输进行仿真,得到双M-Z干涉仪的光场传输图.从仿真结果可以看出,从激光器LD发出的光经过双M-Z干涉仪后,1/4分支波导的光场峰值都达到了0.52,分光比达到了1∶1∶1∶1,实现了光功率的均分,设计的简谐振子满足三分量加速度地震检波器实现正确检测加速度的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	恩德	河南理工大学电气工程与自动化学院	41	121	6.0	8.0
2	张宁波	河南理工大学电气工程与自动化学院	3	4	1.0	1.0
3	冯捷逾	河南理工大学电气工程与自动化学院	3	3	1.0	1.0