基于C-W复合膜/无定形碳纳米岛的表面传导电子发射阴极

• 作者: 朱丹 李德杰 王健 胡强 赵勇
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 平面显示 电子发射 C-W复合膜 磁控溅射 无定形碳纳米岛 Bi纳米岛
• 年，卷（期）: 2012,（5）
• 所属期刊栏目: 电子器件
• 页码范围: 419-424
• 分类号: TN383+.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2012.05.13

摘要

介绍了基于C-W复合膜/无定形碳纳米岛的表面传导电子发射阴极,并对其制备工艺和发射性能进行讨论.利用低熔点纳米Bi岛作为掩模刻蚀得到无定形碳的纳米岛结构,在保留大岛形貌的同时,去除了一定量的小岛结构；同时在无定形碳中掺入少量的W原子,制作导电性极佳的C-W复合膜作为上层发射层,利于激活形成电子发射区域.通过对工艺参数的优化,得到了稳定、均匀的电子发射,电子发射率在阴阳极间距2mm、阳极电压为3 kV时达到0.9％,向器件实用化方向迈出了重要的一步.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李德杰	清华大学电子工程系	34	152	8.0	10.0
2	赵勇	清华大学电子工程系	60	728	16.0	24.0
3	朱丹	清华大学电子工程系	6	9	2.0	2.0
4	王健	清华大学电子工程系	57	1058	14.0	32.0
5	胡强	清华大学电子工程系	3	1	1.0	1.0