钯催化三氧化钨薄膜对氢气的感应特性

• 作者: 李磊 王越 郝宗睿 金光虎
• 来源期刊: 山东科学
• 学科: 物理学
• 关键词: 气体传感器 半导体薄膜 钯催化
• 年，卷（期）: 2012,（6）
• 页码范围: 1-4
• 页数: 4页
• 分类号: O484.4
• 字数: 421字
• 语种: 中文

摘要

以对氢气易于反应的钯为催化材料、钯的沉积厚度和热处理条件为变量，研究三氧化钨薄膜的物理化学性能及气体反应特性。结果表明，三氧化钨在500℃以上时呈现四方晶体的多晶态，钯沉积对三氧化钨的晶体结构没有影响，但是随着钯的添加抑制了三氧化钨的晶粒生长。500℃以上热处理时钯在薄膜表面呈现小球状，600℃以上热处理时钯粒子在薄膜表面凝结或扩散到材料内部。沉积钯2nm的薄膜在工作温度250℃时反应灵敏度和恢复特性对氢气的检测特性最好。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李磊	山东省海洋环境监测技术重点实验室山东省科学院海洋仪器仪表研究所	9	11	2.0	3.0
2	金光虎	山东省海洋环境监测技术重点实验室山东省科学院海洋仪器仪表研究所	1	0	0.0	0.0
3	王越	山东省海洋环境监测技术重点实验室山东省科学院海洋仪器仪表研究所	1	0	0.0	0.0
4	郝宗睿	山东省海洋环境监测技术重点实验室山东省科学院海洋仪器仪表研究所	1	0	0.0	0.0