PWS精密固结金刚石线锯的研发

• 作者: 谈耀麟
• 来源期刊: 超硬材料工程
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石工具 线锯 固结 锯切
• 年，卷（期）: 2012,（2）
• 所属期刊栏目: 国外技术
• 页码范围: 49-53
• 分类号: TQ164
• 字数: 2620字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-1433.2012.02.012

摘要

介绍了两种类型固结金刚石线锯:树脂粘结的PWS-R型和电镀的PWS-E型,且均为多线锯锯床进行高效率和高精确度锯切而研发的.对这两种线锯进行了锯切单晶硅和蓝宝石晶棒试验以评估其性能.证实了这两种线锯比通常的游离磨料型线锯锯切具有高得多的效率.特别是PWS-E型线锯在锯切效率方面具有优越性,而PWS-R型线锯对晶片的损伤较少.