谈新一代MEMS振荡器pMEMS

• 来源期刊: 今日电子
• 学科: 工学
• 关键词: 石英振荡器 MEMS 石英晶体谐振器 CMOS振荡器 电气性能 可靠性问题 电子系统 频率基准
• 年，卷（期）: 2012,（12）
• 所属期刊栏目: 专题特写
• 页码范围: 28-30
• 页数: 3页
• 分类号: TN752.2
• 字数: 1863字
• 语种: 中文

摘要

过去数10年来，在几乎所有电子系统中，频率基准应用一直使用石英晶体谐振器及振荡器，因为石英晶体谐振器及振荡器稳定性好、电气性能卓越。为了克服性能限制并解决石英振荡器的可靠性问题，近几年来，人们一直试图用几种替代性产品来取代石英晶体，其中包括MEMs振荡器和CMOS振荡器。