激光干涉法微位移测量技术综述

• 作者: 任冬梅 段小艳
• 来源期刊: 计测技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微位移测量 高分辨力 可溯源 激光干涉仪
• 年，卷（期）: 2012,（6）
• 所属期刊栏目: 综合评述
• 页码范围: 1-5,13
• 页数: 6页
• 分类号: TB921|TH744.3
• 字数: 5117字
• 语种: 中文

摘要

激光干涉法位移测量技术具有可溯源、分辨力高、测量速度快等独特优势,是目前和近期纳米级以上分辨力位移测量的主流技术.本文对目前主要的激光干涉位移测量技术进行了分类介绍,重点讨论了高分辨力干涉微位移测量技术,并对各种干涉仪的特点进行了分析,最后展望了激光干涉位移测量技术的近期发展趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	段小艳		5	63	3.0	5.0
2	任冬梅		8	68	3.0	8.0