ZnO纳米晶须的形态控制及其结构表征

• 作者: 侯娟 刘爱华 刘玫 孔德敏 满宝元 郭进进
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: ZnO纳米晶须 氧气体积流量 生长温度 热蒸发法 Zn薄膜
• 年，卷（期）: 2012,（2）
• 所属期刊栏目: 材料与结构
• 页码范围: 90-95
• 分类号: TB383|TN304.21
• 字数: 3126字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2012.02.004

摘要

采用激光分子束外延法先在Si(111)衬底上制备Zn薄膜,在不同的氧气体积流量和生长温度下,用热蒸发法在镀有Zn薄膜的Si(111)衬底上制备了不同形貌的ZnO纳米晶须.分别用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)和高分辨透射电子显微镜(HRTEM)对样品的成分、微结构和形貌进行了表征.Zn薄膜在高温下被氧化,并为晶体生长提供均匀的成核点,有利于形成一定大小和数量的ZnO晶核.研究结果表明,氧气体积流量和生长温度对ZnO纳米晶须的形貌有一定的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	满宝元	山东师范大学物理与电子科学学院	34	269	8.0	15.0
2	刘爱华	山东师范大学物理与电子科学学院	19	151	7.0	11.0
3	郭进进	山东师范大学物理与电子科学学院	4	22	3.0	4.0
4	侯娟	山东师范大学物理与电子科学学院	4	22	3.0	4.0
5	刘玫	山东师范大学物理与电子科学学院	8	38	4.0	6.0
6	孔德敏	山东师范大学物理与电子科学学院	2	10	2.0	2.0