LIBS法测定薄膜组份比率精确度的研究

• 作者: 张金平 李旭 范青 董开虎 赵峰 郭庆林 陈金忠
• 来源期刊: 应用激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 激光诱导击穿光谱 分析线对 铁电薄膜 组份比率
• 年，卷（期）: 2012,（5）
• 页码范围: 420-423
• 页数: 4页
• 分类号: O433.4
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/AL20123205.0420

摘要

在常压空气环境下,利用脉冲激光作用于硅基铝酸镧薄膜,实验发现激光器能量为20 mJ,脉冲频率3 Hz,薄膜损伤小且能获得较好品质的光谱；并依据两分析元素光谱强度比与原子数比之间成一定的线性关系,对分析线的选择进行了实验研究,发现线性拟合度不仅与分析线对的选择有关,而且与分析样品元素比率大小有关.测量结果表明,当分析线对为La II 394.91 nm/Al I 394.40 nm时,其测量相对误差为0.59％；分析线对为La Ⅱ 394.91 nm/AlI 396.15 nm时,相对误差是8.32％.可见合理选择分析线对有利于提高薄膜组份比率检测精确度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈金忠		86	552	11.0	19.0
2	郭庆林		129	861	16.0	21.0
3	张金平		37	110	6.0	8.0
4	李旭		104	934	18.0	26.0
5	赵峰		27	87	6.0	8.0
6	董开虎		3	3	1.0	1.0
7	范青		2	2	1.0	1.0