湿度和频率对湿敏元件电学特性的影响

• 作者: 宋丽丽 韩建峰
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: 湿敏元件 电学特性 溶胶-凝胶 机理分析
• 年，卷（期）: 2012,（4）
• 所属期刊栏目: 固态电子器件及材料
• 页码范围: 387-389
• 分类号: TP212.2
• 字数: 1607字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2012.04.005

摘要

在印有梳状电极的石英玻璃表面涂覆氧化钛纳米薄膜制备湿敏元件,研究不同湿度、不同频率下的电学特性.结果表明,随着湿度的增大,湿敏元件的电阻值、阻抗值减小,电容增大;当湿度一定时,电阻值、电容值都随频率的增大而减小;工作频率为0.01 kHz、相对湿度高于40％时,具有较好的湿敏特性.实验说明湿敏元件中不仅电子、离子浓度发生变化,材料的极化也发生了变化.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	宋丽丽	内蒙古工业大学信息工程学院	22	70	4.0	7.0
2	韩建峰	内蒙古工业大学信息工程学院	21	52	3.0	7.0