基于光学相干层析成像技术的薄膜厚度测量

• 作者: 秦玉伟
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 测量与计量 薄膜厚度 谱域 光学相干层析成像
• 年，卷（期）: 2012,（5）
• 所属期刊栏目: 激光与光电子技术应用
• 页码范围: 662-664
• 分类号: TH744.3|O484.5
• 字数: 1486字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3806.2012.05.022

摘要

为了对薄膜厚度进行测量,采用白光谱域光学相干层析成像的测量方法,进行了理论分析和实验验证,对以玻璃为基片的单层和多层薄膜样品进行了层析成像实验,获得了样品的2维层析图像.结果表明,该系统不仅能显示薄膜样品内部的微观结构,而且能从2维层析图像中得到单层和多层薄膜的厚度(分别为68 μm和30μm),测量值与理论值相吻合,从而验证了测量理论正确性.该系统具有较高分辨率,可实现快速成像,满足实际工业测量需要.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	秦玉伟	渭南师范学院物理与电气工程学院	42	95	6.0	7.0