基于MEMS三相栅式位移传感器信号调理电路设计

• 作者: 朱革 王玲 罗静 袁亚辉 郭增强
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 三相栅式位移传感器 调理电路 非线性放大
• 年，卷（期）: 2012,（1）
• 所属期刊栏目: 设计与制造
• 页码范围: 94-96
• 分类号: TP723
• 字数: 1480字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2012.01.029

摘要

根据基于微机电系统(MEMS)的三相栅式位移传感器测量原理和输出信号特点,设计了一种信号调理电路.该电路主要由差分前置放大电路、带通有源滤波器和波形变换电路组成.波形变换电路设计采用了非线性放大方法来提高信噪比和检测灵敏度.以此信号调理电路搭建的位移测量系统读数稳定性达到1″,表明该电路稳定性达到测量要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱革	重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程研究中心	29	142	7.0	11.0
2	罗静	重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程研究中心	58	195	8.0	11.0
3	郭增强	重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程研究中心	2	3	1.0	1.0
4	袁亚辉	重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程研究中心	3	3	1.0	1.0
5	王玲	重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程研究中心	2	5	2.0	2.0