磁控溅射法制备耐冲蚀钛合金复合涂层研究进展

• 作者: 张俊秋 张燕梁 戈超 贾凡 马荣峰
• 来源期刊: 黑龙江八一农垦大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射 耐冲蚀 钛合金
• 年，卷（期）: 2012,（2）
• 所属期刊栏目: 目次
• 页码范围: 16-19,26
• 页数: 5页
• 分类号: TG146
• 字数: 4354字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-2090.2012.02.006

摘要

介绍了磁控溅射的基本原理，以及几种典型的磁控溅射镀膜技术（反应溅射、非平衡磁控溅射、等离子体加强磁控溅射技术）；并介绍了利用磁控溅射技术制备钛合金耐冲蚀涂层的新进展。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张燕梁	黑龙江八一农垦大学工程学院	30	113	7.0	9.0
2	张俊秋	吉林大学工程仿生教育部重点实验室	8	9	2.0	2.0
3	贾凡	长春理工大学图书馆	2	5	1.0	2.0
4	戈超	吉林大学工程仿生教育部重点实验室	3	4	1.0	2.0
5	马荣峰	吉林大学工程仿生教育部重点实验室	4	4	1.0	2.0