蒸发用磁偏转电子枪的原理与结构分析

• 作者: 何方 宋健 王磊 陈晓东
• 来源期刊: 电源技术
• 学科: 工学
• 关键词: 电子枪 束斑 坩埚 电子束蒸发 磁场 电场 真空
• 年，卷（期）: 2012,（8）
• 所属期刊栏目: 研究与设计
• 页码范围: 1138-1139
• 分类号: TM914.4
• 字数: 2186字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-087X.2012.08.020

摘要

空间用砷化镓太阳电池的介质膜和金属膜的制备主要依靠真空条件下电子枪的蒸发来完成.深入分析电子枪的原理和结构,有利于改善蒸发工艺,如:可根据不同的蒸发材料选择不同的形式的电子枪,确定不同的扫描方式和蒸发功率等,达到更加完美的蒸发效果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	宋健	中国电子科技集团公司第十八研究所	7	16	2.0	3.0
2	王磊	中国电子科技集团公司第十八研究所	76	167	6.0	10.0
3	陈晓东	中国电子科技集团公司第十八研究所	2	3	1.0	1.0
4	何方	中国电子科技集团公司第十八研究所	3	3	1.0	1.0