基于体硅工艺的GLV光学调制器的研制

• 作者: 刘英明 吴亚明 徐静 李四华
• 来源期刊: 光通信技术
• 学科: 工学
• 关键词: 体硅工艺 光栅光阀 光学调制器 绝缘体上硅 消光比
• 年，卷（期）: 2012,（4）
• 所属期刊栏目: 光器件
• 页码范围: 22-24
• 分类号: TN256
• 字数: 2211字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-5561.2012.04.007

摘要

采用体硅微加工工艺制作了一种基于光栅光阀(GLV)的光学调制器,使用仿真软件对器件参数进行了优化设计.对加工出来的器件进行了测试,并对测试结果进行了分析.器件成功的实现了光学调制的功能,采用10kHz的方波信号进行调制时,得到了峰峰值为50mv,响应时间为10μs的调制后波形.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐静	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室	29	244	9.0	15.0
2	李四华	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室	8	64	5.0	8.0
3	吴亚明	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室	35	193	9.0	11.0
4	刘英明	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室	9	42	5.0	6.0