应用于太阳能电池的AZO透明导电薄膜光学性质研究

• 作者: 张腾 汪浩 钟志有
• 来源期刊: 中南民族大学学报：自然科学版
• 学科: 工学
• 关键词: 掺铝氧化锌 透明导电薄膜 光学常数
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 所属期刊栏目: 物理与电子信息科学
• 页码范围: 66-71
• 页数: 6页
• 分类号: TM914
• 字数: 4103字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-4321.2012.03.016

摘要

以铝掺杂氧化锌陶瓷靶作为溅射源,采用射频磁控溅射工艺在玻璃衬底上制备了掺铝氧化锌（AZO）透明导电薄膜,利用全光谱拟合法计算了AZO薄膜的光学常数和厚度,研究了厚度对AZO薄膜光学性质的影响.结果表明：拟合光谱曲线与实测光谱曲线一致,薄膜的光学性能与厚度密切相关,AZO薄膜折射率表现为正常的色散特性.另外还采用包络法计算了AZO薄膜的折射率和厚度,两种方法所得结果基本相符.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	钟志有	中南民族大学电子信息工程学院	67	360	11.0	14.0
2	汪浩	中南民族大学电子信息工程学院	7	56	5.0	7.0
3	张腾	中南民族大学电子信息工程学院	6	50	5.0	6.0