轴向填充率渐变型二维光子晶体

• 作者: 周建伟 梁中翥 梁静秋 王维彪
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 二维光子晶体 轴向填充率渐变 电化学腐蚀
• 年，卷（期）: 2012,（10）
• 所属期刊栏目: 器件制备及器件物理
• 页码范围: 1112-1119
• 页数: 8页
• 分类号: O431.1
• 字数: 4702字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/fgxb20123310.1112

摘要

提出了一种轴向填充率渐变型二维三角晶格方空气孔光子晶体,由锥形孔周期性排布而成,在第三维也就是沿空气孔的轴向,空气孔的尺寸连续改变,实现了填充率渐变,填充率f范围为0.700～0.866.经过模拟,在归一化波长(λ/a)的1.43 ～2.71和3.41 ～4.00波段,轴向填充率渐变型光子晶体可以将光向填充率小的方向偏折,具有选光功能.采用电化学腐蚀与MEMS工艺相结合的方式,在p型(100)硅基底上制作了轴向填充率渐变型二维三角晶格方孔光子晶体,整个孔的填充率f在0.800 ～0.866范围内.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	梁中翥	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	50	225	8.0	12.0
2	梁静秋	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	66	389	11.0	17.0
3	王维彪	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	29	91	6.0	7.0
4	周建伟	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	6	28	2.0	5.0