压电式高频振动台的研制

• 作者: 于梅 徐爱华 杨丽峰
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 压电式高频振动台 压电叠堆 预应力 压电陶瓷
• 年，卷（期）: 2012,（4）
• 页码范围: 299-302
• 分类号: TB936
• 字数: 2820字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2012.04.03

摘要

根据高频振动基准装置的研究现状和应用需求,研究了压电式高频振动台的优化设计方案,并对压电式高频振动台在设计中的几个重要问题:高频台各组成部分的功能及选择、压电叠堆设计参数的优化、接触界面对振动台性能的影响与预应力的选择及影响等进行了分析.研制了新型压电式高频振动台,其工作频率为2 ～ 50 kHz,最大振幅500 nm.给出了新型压电式高频振动台的主要技术指标和比对实验数据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	于梅		78	474	11.0	16.0
2	杨丽峰		23	98	6.0	9.0
3	徐爱华		10	15	2.0	3.0