W-Ti共掺杂ZnO靶材的烧结及其特性

• 作者: 乔薇 张存善 张德坤 张晓丹 赵颖 陈新亮 魏长春
• 来源期刊: 材料科学与工程学报
• 学科: 工学
• 关键词: WTZO靶材 烧结温度 烧结气氛 相对致密度 方块电阻
• 年，卷（期）: 2012,（4）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 493-496,555
• 分类号: TF124
• 语种: 中文

摘要

本文根据高价态差掺杂原理,采用常压烧结技术制备了低电阻率的W-Ti共掺杂ZnO陶瓷靶材（WTZO）,并研究了烧结温度及烧结气氛对靶材特性的影响。结果表明：当烧结温度为1200℃时,WTZO靶材的特性较好。随着烧结温度的升高,WTZO靶材的相对致密度先快速增大后缓慢减小,方块电阻先降低后升高。烧结气氛对WTZO靶材特性的影响显著,烧结气氛为空气时,靶材的方块电阻为12.18Ω/□,相对致密度为94.3%;当烧结气氛为高纯Ar气时,靶材的方块电阻为1.253Ω/□,相对致密度为96.7%。