激光跟踪仪检验非球面面形的方法

• 作者: 王孝坤
• 来源期刊: 光子学报
• 学科: 工学
• 关键词: 光学检测 非球面 面形误差 激光跟踪仪
• 年，卷（期）: 2012,（4）
• 所属期刊栏目: 光学测量
• 页码范围: 379-383
• 分类号: TQ171.65|O436.1
• 字数: 3129字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/gzxb20124104.0379

摘要

通过扩充激光跟踪仪的现有功能,提出了一种适用于非球面研磨和粗抛光阶段以及中低准确度非球面面形的快速检测方法.分析了测试原理,设计规划了检测流程.利用激光跟踪仪的靶标球对非球面表面进行多点接触测量,并将测量的结果与非球面CAD模型进行分析对比、处理和运算,获得非球面的面形分布信息,结合实例对一口径为420 mm×270 mm的离轴非球面进行了面形检测,并与零位补偿结果进行对比,结果表明,两种方法测试的面形误差分布是一致的,其峰谷值和均方根值的相对偏差分别仅为6.22％和3.37％.该方法无需其它辅助光学元件就能够准确地实现对大口径非球面面形的检测,测试数据处理和数学运算简单,实验操作简单易行.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王孝坤	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室	29	222	10.0	14.0