提高红外器件磁控溅射沉积镀膜厚度均匀性的一种方法

• 作者: 余连杰 刘黎明 孙祥乐 孙茜 孙金妮 王忆锋
• 来源期刊: 红外技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 磁控溅射 厚度均匀性 沟槽效应
• 年，卷（期）: 2012,（5）
• 所属期刊栏目: 材料与器件
• 页码范围: 265-267
• 分类号: O484.1
• 字数: 1057字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-8891.2012.05.004

摘要

介绍了一种提高红外器件磁控溅射沉积镀膜厚度均匀性的方法.这种方法被称为基片离心旋转法,是在保持磁控溅射靶不动及靶和样品台间距不变的情况下,通过样品台离心旋转的方法,补偿或改善圆形磁控靶在正对的基片上沿径向的溅射沉积不均匀分布,是一种动态沉积法.这种方法可以在不改变磁控靶结构的情况下大大提高磁控溅射沉积镀膜的厚度均匀性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘黎明		24	160	7.0	12.0
2	王忆锋		138	654	13.0	16.0
3	余连杰		24	105	6.0	8.0
4	孙金妮		6	9	1.0	3.0
5	孙祥乐		4	8	1.0	2.0
6	孙茜		1	1	1.0	1.0