一种新型MEMS矢量水听器的设计

• 作者: 张国军 张文栋 李俊 石归雄 许姣
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 矢量水听器 微机电系统(MEMS) 封装与测试 ANSYS
• 年，卷（期）: 2012,（1）
• 所属期刊栏目: 压电功能器件
• 页码范围: 89-92
• 分类号: TN40|TB565.1
• 字数: 2459字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-2474.2012.01.023

摘要

针对国内对高灵敏、小体积、造价低的矢量水听器迫切应用需求的现状,提出了一种新型的双“T”型微机电系统(MEMS)矢量水听器.该敏感单元结构可一体化加工,且加工成本低,适合大批量生产,易于阵列化.采用ANSYS仿真,得出1阶共振频率为1 840 Hz,压敏电阻位置距离梁根部180 μm.对此结构进行声学封装与测试,测试结果表明,该水听器在1 kHz的灵敏度达到-175 dB,工作频段为100 Hz～4 kHz,具有良好的“8”指向性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	石归雄	中北大学电子测试技术重点实验室	4	48	3.0	4.0
2	张国军	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	75	334	8.0	13.0
6	许姣	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	5	64	3.0	5.0
10	张文栋	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	167	1172	16.0	26.0
12	李俊	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	4	38	3.0	4.0