H13钢离子渗氮(PN)与类金刚石(DLC)复合处理的摩擦磨损性能研究

• 作者: 代明江 侯惠君 廖芳 林松盛 邱万奇 韦春贝
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 离子渗氮 磁控溅射 类金刚石膜 摩擦系数
• 年，卷（期）: 2012,（1）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 60-64
• 分类号: TG174.444|TB43
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2012.01.015

摘要

采用阳极层流离子源与非平衡磁控溅射结合的沉积方法在H13钢基体表面沉积出类金刚石膜(DLC),并对H13钢经不同表面预处理对后沉积的DLC膜的摩擦学性能进行了对比研究.结果表明:DLC膜结构致密,且DLC膜与梯度过渡层及基体三者之间结合牢固；H13钢经离子氮化后,梯度过渡层与氮化层间结合紧密,提高了膜与基体的承载能力；在保持相同摩擦速率的条件下,摩擦系数随着载荷的增加先增大后减小；H13钢离子渗氮处理后沉积的DLC膜其摩擦系数远小于未采用离子渗氮处理沉积的DLC薄膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邱万奇	华南理工大学材料科学与工程学院	67	339	9.0	15.0
2	代明江	广东省工业技术研究院新材料所	5	22	3.0	4.0
3	林松盛	广东省工业技术研究院新材料所	5	22	3.0	4.0
4	侯惠君	广东省工业技术研究院新材料所	4	16	2.0	4.0
5	韦春贝	广东省工业技术研究院新材料所	3	15	2.0	3.0
6	廖芳	华南理工大学材料科学与工程学院	2	10	1.0	2.0