硅基太阳电池的表面纳米织构及制备

• 作者: 张严波 徐锐 李小明 杨富华 王晓东 陈燕坤 韩伟华
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 硅基太阳电池 金属纳米颗粒 纳米线 纳米锥 纳米孔
• 年，卷（期）: 2012,（6）
• 所属期刊栏目: 材料与结构
• 页码范围: 388-395
• 分类号: TM914.4
• 字数: 7004字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2012.06.006

摘要

综述了用于硅基太阳电池高效陷光的四种表面纳米织构,即金属纳米颗粒、纳米线、纳米锥和纳米孔.相对于其他三种表面纳米织构,纳米孔具有更好的结构特性和陷光能力.详细介绍了各种表面纳米织构的制备方法,如金属薄膜退火、金属诱导化学腐蚀、干法刻蚀、深紫外光刻和纳米球光刻等.通过表面纳米织构提高效率是太阳电池领域的重点研究内容.表面纳米织构以其优异的光电特性,将在未来高效光伏器件中得到重要应用.