溶胶-凝胶法制备Co,Cu共掺杂ZnO薄膜结构及光学特性

• 作者: 吴忠浩 张丽 徐明 苗峰 袁欢 赵林 黄勤珍
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: ZnO薄膜 溶胶-凝胶 共掺杂 光致发光
• 年，卷（期）: 2012,（6）
• 所属期刊栏目: 材料、结构及工艺
• 页码范围: 856-862
• 分类号: TN304.21
• 语种: 中文

摘要

采用溶胶-凝胶法在玻璃基片上制备了纯ZnO薄膜和高浓度Cu掺杂的Co,Cu共掺ZnO（Zn0.90CoxCu0.1-xO,x=0.01,0.03,0.05）薄膜。扫描电镜观察到无论是纯ZnO还是掺杂ZnO薄膜表面都有均匀分布的颗粒,但是在Cu含量较高时均匀性更好。X射线衍射揭示所有样品都具有纤锌矿结构,但是Cu掺杂量的增加使晶格常数略有减小,而晶粒尺寸却略有增大。XPS测试结果表明样品中Co离子的价态为＋2价和＋3价,Cu离子的价态为＋2价和＋1价共存。室温光致发光测量在所有样品中均观察到较强的紫外发光峰、蓝光双峰和较弱的绿光发光峰。