溶剂热法制备Al掺杂ZnO薄膜的机理研究

• 作者: 张跃 谷景华 马振辉
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: ZnO薄膜 Al掺杂 溶剂热 机理
• 年，卷（期）: 2012,（1）
• 页码范围: 74-78
• 分类号: O484
• 字数: 3111字
• 语种: 中文

摘要

采用溶剂热法在玻璃衬底上制备Al掺杂的ZnO薄膜,研究了溶剂热过程中升温、恒温和降温三个阶段分别对薄膜物相和形貌的影响,探讨了薄膜的生长机理.结果表明,升温阶段只是形核过程,基片仅在升温阶段与前驱液接触不能形成薄膜；基片在升温-恒温阶段与前驱液接触可制备(002)择优取向的薄膜；恒温阶段既有成核过程又有晶体生长过程,基片仅在恒温阶段与前驱液接触可以制备薄膜；降温阶段薄膜继续生长.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谷景华	北京航空航天大学材料科学与工程学院	22	133	6.0	10.0
2	张跃	北京航空航天大学材料科学与工程学院	74	543	14.0	19.0
3	马振辉	北京航空航天大学材料科学与工程学院	1	1	1.0	1.0