基于UV-LIGA技术的双层微齿轮模具镶块工艺

• 作者: 周嘉 李燃灯 秦宗慧
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: UV-LIGA 氧化铟锡(ITO) 背面曝光 正面套刻 双层微齿轮 模具镶块
• 年，卷（期）: 2012,（2）
• 所属期刊栏目: 加工、测量与设备
• 页码范围: 129-133
• 分类号: TH703
• 字数: 2504字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2012.02.011

摘要

以氧化铟锡(ITO)玻璃作为基底,采用UV-LIGA技术制作了双层微齿轮型腔模具的镶块.首先,采用正胶(RZJ-304)进行光刻,在ITO玻璃表面电镀镍掩模,通过镍掩模对第一层SU-8光刻胶进行背面曝光.再利用正面套刻的方法对第二层SU-8光刻胶进行曝光,显影得到双层微齿轮的胶模.最后,进行微电铸得到双层微齿轮型腔镶块.通过实验验证了双层微齿轮模具镶块制作的工艺流程,优化了其工艺参数,克服了底部曝光不足引起的问题,并对制作工艺过程中产生的涂胶不平整、前烘时胶层不稳定、热板加热不均以及接触式曝光破坏胶层表面等问题进行了研究.所制得的双层微齿轮胶模垂直度高,表面质量好,且套刻精度高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周嘉	复旦大学微电子系	25	123	7.0	10.0
2	秦宗慧	华东理工大学机械与动力工程学院	13	60	5.0	7.0
3	李燃灯	华东理工大学机械与动力工程学院	1	4	1.0	1.0