真空环境下指数脉冲放电等离子体特性分析

• 作者: 刘文正 张德金 潘利江 王浩
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 真空 指数脉冲 等离子体 探针法 生成特性
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 所属期刊栏目: 真空应用
• 页码范围: 92-94
• 分类号: TB7|TM8
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2012.03.023

摘要

真空环境内金属电极放电产生的等离子体不同于气体放电等离子体,具有特殊的性质.本实验采用持续时间为10μs,幅值约600A的指数变化的脉冲电源进行放电；运用朗缪尔探针法对放电生成的等离子体的相关参数进行测量,讨论了放电生成的等离子体的特性,分析了电极间距对放电等离子体密度的影响；同时运用AnsoftMaxwell3D仿真软件对电极间的电场分布情况进行了仿真分析.实验发现采用指数脉冲放电能生成高密度的等离子体,且生成的等离子体密度随电极间距增大而增大.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张德金	北京交通大学电气工程学院	4	6	2.0	2.0
2	刘文正	北京交通大学电气工程学院	22	93	5.0	8.0
3	潘利江	北京交通大学电气工程学院	2	3	1.0	1.0
4	王浩	北京交通大学电气工程学院	18	102	6.0	9.0