基于MDP的半导体制造设备维护调度研究

• 作者: 陈静静
• 来源期刊: 电子测量技术
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体制造 设备 马尔可夫决策过程 维护调度
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 所属期刊栏目: 研究与设计
• 页码范围: 24-27
• 分类号: TP273
• 字数: 3980字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-7300.2012.03.006

摘要

为解决半导体制造设备的维护调度问题,提出基于马尔可夫决策过程(MDP)的制造设备两层维护优化模型.设备层利用马尔可夫决策过程(MDP)模型,同时考虑劣化故障和随机故障两种故障类型,制定针对单台设备的工件排序、清洗和维修的长期维护优化策略,系统层采用遗传算法解决有限维护资源下短期维修调度方案,尽可能降低由设备故障所导致的生产损失.最后以某半导体生产线为例利用eM-Plant软件进行仿真验证,结果表明,该维护策略能更好的提高系统性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈静静	北京化工大学信息科学与技术学院	1	2	1.0	1.0