微机械梳齿谐振器的可靠性仿真

• 作者: 唐海林 王强 秦燃 高杨
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 微机械梳齿谐振器 微机械加工 有限元 寿命 可靠性
• 年，卷（期）: 2012,（1）
• 所属期刊栏目: 光电器件
• 页码范围: 34-38
• 分类号: TN305
• 语种: 中文

摘要

针对微加工工艺引起的微机械梳齿谐振器可靠性问题进行了仿真分析。包括：深反应离子刻蚀工艺造成梳齿与弹性支撑梁侧壁倾斜对驱动力、谐振频率和谐振次数的影响;残余应力和杂质不均等因素在弹性支撑梁上产生的微裂纹对谐振器动力学的影响。仿真结果表明：当梳齿与弹性支撑梁的侧壁向内倾斜时,驱动力、谐振频率与倾斜角成反比;向外倾斜时,驱动力、谐振频率与倾斜角成正比;谐振频率与微裂纹的个数成反比;两者均会导致谐振次数（寿命）降低。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王强	西南科技大学制造科学与工程学院	22	69	5.0	7.0
2	秦燃	西南科技大学信息工程学院	7	17	3.0	3.0