磁控溅射制备钛薄膜的结构和光学性质

• 作者: 吴杨微 林丽梅 林建平 赖发春 郑卫锋 郑明志
• 来源期刊: 福建师范大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 钛 薄膜 光学性质 表面形貌
• 年，卷（期）: 2012,（4）
• 页码范围: 31-35
• 分类号: O484.4
• 字数: 3469字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-5277.2012.04.007

摘要

利用直流磁控溅射技术在石英基片上沉积厚度为35～112 nm的钛薄膜.采用X射线衍射仪和原子力显微镜分别对薄膜的微结构和表面形貌进行观测,用分光光度计测量样品的透射和反射光谱.选用德鲁特光学介电模型,通过拟合样品的透射和反射光谱数据的方法求解钛薄膜的折射率、消光系数和厚度.结果表明,随着厚度的增加,(100)面衍射峰强度增强,薄膜的结晶性能提高;膜厚为56 nm时,样品的表面为多孔结构,而大于56 nm时表面为连续膜的球形颗粒结构;随膜厚的增加,表面颗粒直径逐渐增大,表面粗糙度减小.在400～2 000 nm波长范围内,薄膜的透射率随膜厚的增加而减小,反射率升高;折射率在2.5与3.4之间,消光系数在0.7与1.4之间,折射率和消光系数均随膜厚的增加而增加.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	林建平	福建师范大学物理与光电信息科技学院	27	49	4.0	5.0
3	吴杨微	福建师范大学物理与光电信息科技学院	3	7	2.0	2.0
4	林丽梅	福建师范大学物理与光电信息科技学院	28	139	8.0	11.0
5	赖发春	福建师范大学物理与光电信息科技学院	37	216	8.0	13.0
8	郑明志	福建师范大学物理与光电信息科技学院	5	17	3.0	4.0
9	郑卫锋	福建师范大学物理与光电信息科技学院	1	4	1.0	1.0