基于模糊图像相关的MEMS动态测量技术

• 作者: 张毅 杨博 罗元
• 来源期刊: 科技导报
• 学科: 工学
• 关键词: 图像相关 微机电系统 动态测试 模糊图像
• 年，卷（期）: 2012,（27）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 45-49
• 分类号: TH133.2|TN256
• 字数: 3858字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3981/j.issn.1000-7857.2012.27.006

摘要

在基于视觉的微机电系统(MEMS)谐振器动态参数测量中,由于模糊图像合成技术对摄像机采集速率要求不高,且能够得到较高的测量精度,因此在实际测量系统中具有广阔的应用前景.在研究模糊图像相关性的基础上,提出了一种基于模糊图像相关性的MEMS平面运动参数测量方法.该方法通过求取模糊图像一阶微分的自相关函数负峰的间距实现振幅的测量,算法在空域内进行,不受变换域分辨率限制,可以通过插值提高振幅测量精度.实验分析表明,图像中不同区域的相似纹理是产生干扰峰的主要原因,通过在振动方向对图像进行对比度增强,可以减小振动方向的纹理重复度.实验结果表明:该方法是可行的,能精确测量MEMS谐振器的动态参数,并且测量方法简单,只需采集一幅MEMS谐振器在振动稳定状态下的模糊图像即可进行测量,数据处理量小,有利于实现在线测量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	罗元	重庆邮电大学光电工程学院	192	1681	17.0	31.0
2	张毅	重庆邮电大学自动化学院	281	2390	21.0	36.0
3	杨博	重庆邮电大学光电工程学院	1	4	1.0	1.0