单晶PMnN-PZT铁电薄膜制备与表征

• 作者: 张涛 张淑仪 李敏 赵省贵 马宏伟
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: PMnN-PZT 单晶铁电薄膜 磁控溅射
• 年，卷（期）: 2012,（11）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 1431-1433
• 页数: 3页
• 分类号: TM22|TB74
• 字数: 2254字
• 语种: 中文

摘要

利用磁控溅射方法,在MgO基底上沉积三元系铁电薄膜6%PMnN-94%PZT（6%Pb（Mn1/3,Nb2/3）O3-94%Pb（Zr0.45,Ti0.55）O3）,采用淬火方法对薄膜进行后期热处理。分别运用面内和面外X射线衍射（XRD）技术分析薄膜长相及晶体结构,运用高分辨率扫描电镜（SEM）观察薄膜的晶粒表面及截面结构。实验结果表明,所沉积薄膜为单晶钙钛矿结构薄膜,薄膜结构优良。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵省贵	西安科技大学理学院	16	38	3.0	5.0
2	马宏伟	西安科技大学理学院	171	1433	18.0	32.0
3	李敏	西安科技大学理学院	14	59	4.0	7.0
4	张淑仪	南京大学声学研究所	85	578	14.0	21.0