RF MEMS开关的设计分析

• 作者: 石国超 纪学军
• 来源期刊: 无线电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 射频微机电系统 开关 隔离度 插入损耗
• 年，卷（期）: 2012,（11）
• 所属期刊栏目: 电磁场与微波
• 页码范围: 40-43
• 页数: 4页
• 分类号: TN743
• 字数: 2270字
• 语种: 中文

摘要

针对具有低损耗、高隔离度性能的微机电系统（Micro-Electro-Mechanical System,MEMS）开关,介绍了串联DC式和并联电容式的开关结构模型,并对并联电容式MEMS开关的工作原理、等效电路模型和制造工艺流程进行了描述,利用其模型研究了开关的微波传输性能,设计了一款电容耦合式开关并进行了仿真。由仿真结果可得,开关＂开态＂时的插入损耗在40 GHz以内优于-0.3 dB;开关＂关态＂时的隔离度在20～40 GHz相对较宽的频带内优于-20 dB。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	纪学军	中国电子科技集团公司电子第五十四研究所	20	77	5.0	7.0
2	石国超	中国电子科技集团公司电子第五十四研究所	6	11	2.0	3.0