利用真空变温电阻测试仪研究VO2薄膜的电阻特性

• 作者: 朱亚彬 王子潇 郑凯
• 来源期刊: 物理实验
• 学科: 物理学
• 关键词: 磁控溅射 VO2薄膜 电阻率 温度
• 年，卷（期）: 2012,（12）
• 所属期刊栏目: 实验教学
• 页码范围: 1-4
• 页数: 4页
• 分类号: O484.4
• 字数: 2092字
• 语种: 中文

摘要

利用磁控溅射技术在普通玻璃基片上制备了VO2薄膜,晶体结构和表面形貌分析表明制备的样品主要具有VO2相,结晶情况良好.利用自制真空变温薄膜电阻测试仪器测试了VO2薄膜的电阻率随温度变化曲线,观察到钒氧化物的电阻突变和热滞现象.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑凯	北京交通大学理学院物理实验中心	50	316	9.0	15.0
2	朱亚彬	北京交通大学理学院物理实验中心	22	48	3.0	5.0
3	王子潇	北京交通大学理学院物理实验中心	1	0	0.0	0.0