紫外激光与半导体相互作用研究进展综述

• 作者: 刘晨星 张大勇
• 来源期刊: 光电技术应用
• 学科: 物理学
• 关键词: 激光辐照 半导体 损伤机理 损伤阈值
• 年，卷（期）: 2012,（2）
• 页码范围: 21-26
• 分类号: O437
• 字数: 3628字
• 语种: 中文

摘要

紫外激光与半导体相互作用是当今国内外研究的热点.综述了紫外激光与半导体相互作用在光电子产业、激光加工、激光表面改性等方面的应用.介绍了紫外激光与半导体相互作用的基本原理,总结了紫外激光烧蚀半导体的理论模型,包括热传导模型、载流子耦合扩散模型、光化学模型、表面热蒸发模型、双温模型、表面充电模型等.总结了关于损伤形貌、烧蚀阈值和紫外激光损伤半导体机理的实验研究.提出了紫外激光与半导体相互作用可能的研究和新的应用方向

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张大勇	中国工程物理研究院流体物理研究所	62	225	7.0	12.0
2	刘晨星	中国工程物理研究院流体物理研究所	2	6	1.0	2.0