基于模糊神经网络的晶圆制造产出率预测方法研究

• 作者: 吴立辉 朱登洁 赵斌
• 来源期刊: 组合机床与自动化加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 晶圆制造 晶圆侦测产出率 预测 模糊神经网络
• 年，卷（期）: 2012,（7）
• 所属期刊栏目: 控制与检测
• 页码范围: 57-60
• 分类号: TH166
• 字数: 2913字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2265.2012.07.015

摘要

晶圆侦测产出率指标的准确预测,对晶圆制造系统的投料计划和调度优化具有重要意义.为提高晶圆侦测产出率指标的预测精度,提出了一种基于模糊神经网络的晶圆产出率预测方法.基于某晶圆制造企业的实际生产数据,与传统的基于神经网络模型、泊松模型和负二项式模型的晶圆产出率预测方法进行比较,结果表明基于模糊神经网络的晶圆产出率预测方法具有更高的预测精度,证明了该预测方法的有效性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱登洁	河南工业大学机电工程学院	14	47	4.0	6.0
2	吴立辉	河南工业大学机电工程学院	39	133	6.0	9.0
3	赵斌	河南工业大学机电工程学院	4	22	3.0	4.0