绒面AZO干法制备及性能研究

• 作者: 倪争技 庄松林 张大伟 王文娜 陶春先 黄元申
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: AZO薄膜 绒面结构 太阳能电池 离子束刻蚀
• 年，卷（期）: 2012,（2）
• 所属期刊栏目: 薄膜光学
• 页码范围: 147-150
• 分类号: O472|TB43|TB39
• 字数: 1543字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2012.02.027

摘要

利用射频溅射方法,制得AZO透明导电膜,并用离子束刻蚀制备绒面,得到绒面AZO透明导电膜.比较刻蚀前后光电性能及表面形貌,发现透过率稍有下降,在可见光波段透过率在80％以上；电阻率略有上升,但仍保持在10-3Ω·cm数量级,最低为2.91× 10-3 Ω·cm;刻蚀后薄膜表面形貌变化较大,大多数薄膜表面呈现“坑状”结构,横向尺寸在0.5～1.0 μm,开口角在120°左右,表面粗糙度从7.29 nm上升到36.64 nm.薄膜具有较好的表面微结构,在作太阳能电池前电板方面有较好的应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张大伟	上海理工大学光电信息与计算机工程学院	117	391	11.0	15.0
2	庄松林	上海理工大学光电信息与计算机工程学院	199	1335	20.0	29.0
3	黄元申	上海理工大学光电信息与计算机工程学院	56	348	11.0	16.0
4	倪争技	上海理工大学光电信息与计算机工程学院	43	341	12.0	17.0
5	陶春先	上海理工大学光电信息与计算机工程学院	21	38	3.0	5.0
6	王文娜	上海理工大学光电信息与计算机工程学院	2	4	1.0	2.0