微晶/纳米金刚石复合涂层的沉积与表征

• 作者: 朱绍峰 袁根福 马玉平
• 来源期刊: 热处理技术与装备
• 关键词: 纳米金刚石复合涂层 硬质合金 偏压增强热丝CVD 表面质量
• 年，卷（期）: 2012,（2）
• 所属期刊栏目: 材料研究
• 页码范围: 31-35
• 分类号: TG156.99
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-4971.2012.02.009

摘要

采用偏压增强热丝CVD(HFCVD)法,通过引入惰性气体Ar,在经过甲醇新预处理方法处理后的硬质合金衬底表面成功沉积了微晶/纳米金刚石复合涂层.对金刚石复合涂层的表面形貌、成分、表面粗糙度进行了分析和研究.研究结果表明:新的预处理方法能够提高金刚石薄膜与衬底之间的附着强度.Ar的引入使得金刚石薄膜二次形核率更高,颗粒也更加细小,纳米金刚石复合涂层不但具有高的附着强度,而且具有非常低的表面粗糙度.对于拓展纳米金刚石涂层在精密加工领域中的应用具有一定的作用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱绍峰	安徽建筑工业学院材料与化学工程学院	42	150	7.0	9.0
2	袁根福	安徽建筑工业学院机械与电气工程学院	41	358	11.0	17.0
3	马玉平	安徽建筑工业学院机械与电气工程学院	17	79	5.0	8.0