硅基正弦波纹微通道内的流动阻力特性

• 作者: 吴慧英 张弛 黄后学
• 来源期刊: 化工学报
• 关键词: 正弦波纹微通道 硅基芯片 流动阻力 相位差 周期
• 年，卷（期）: 2012,（4）
• 所属期刊栏目: 流体力学与传递现象
• 页码范围: 1011-1018
• 分类号: TK124
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0438-1157.2012.04.003

摘要

硅基正弦波纹微通道在微尺度强化换热、微流体器件中均有重要运用,而目前尚未见有关于其内部流动特性的实验报道.利用标准微机电系统(MEMS)工艺在硅基芯片上加工制成一系列具有不同相位差和周期、当量直径为160μm的正弦波纹微通道,通过实验研究了其内部流动阻力特性.研究表明:正弦波纹微通道较平直微通道阻力均有增加,且增加幅度与波纹微通道两侧壁的相位差和周期有关.对于周期相同的波纹微通道,两侧壁相位差越大,阻力也越大.对于相位差相同的波纹微通道,周期对阻力的影响则较为复杂:当相位差为0时,呈现出周期越大、阻力越小的趋势(除最小周期通道外)；当相位差为π时,呈现出周期越大、阻力越大的趋势.研究还发现:随着周期减小,相位差对阻力的影响减小,当周期缩短至0.5 mm时,相位差为0和π的波纹微通道内的阻力特性曲线几乎重合.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴慧英	上海交通大学机械与动力工程学院	57	342	11.0	16.0
2	张弛	上海交通大学机械与动力工程学院	44	373	9.0	18.0
3	黄后学	上海交通大学机械与动力工程学院	1	7	1.0	1.0