液相沉积法制备的二氧化硅薄膜及其钝化性能

• 作者: 何静 刘邦武 夏洋 李超波 钟思华
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 液相沉积 二氧化硅薄膜 钝化
• 年，卷（期）: 2012,（11）
• 所属期刊栏目: 器件制备及器件物理
• 页码范围: 1264-1267
• 页数: 4页
• 分类号: O76
• 字数: 2373字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/fgxb20123311.1264

摘要

采用液相沉积法在硅基底上成功制备了二氧化硅薄膜,利用扫描电子显微镜、光电子能谱和少子寿命测试仪等对二氧化硅薄膜的组织结构和钝化性能进行了研究,结果表明,液相生长的二氧化硅薄膜致密平整,含有少量的F元素；对硅具有较好的减反和钝化作用,平均反射率由28.87％降低至10.88％,表面复合速度由6 923 cm/s降低至2 830 cm/s.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	夏洋	中国科学院微电子研究所中国科学院微电子器件与集成技术重点实验室	67	325	9.0	14.0
2	何静	中国科学院微电子研究所中国科学院微电子器件与集成技术重点实验室	34	559	10.0	23.0
3	李超波	中国科学院微电子研究所中国科学院微电子器件与集成技术重点实验室	31	120	7.0	9.0
4	刘邦武	中国科学院微电子研究所中国科学院微电子器件与集成技术重点实验室	17	96	6.0	8.0
5	钟思华	中国科学院微电子研究所中国科学院微电子器件与集成技术重点实验室	2	8	2.0	2.0