高精度大长径比圆柱轴孔内外径测量系统研制

• 作者: 朱小平 杨自本 王蔚晨
• 来源期刊: 计量技术
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 直径测量 移相干涉 白光干涉测量
• 年，卷（期）: 2012,（10）
• 所属期刊栏目: 测量与设备
• 页码范围: 10-14,18
• 分类号: TB9
• 字数: 2937字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-0771.2012.10.003

摘要

介绍一种非接触式测量大长径比精密圆柱轴孔内外径的方法,该方法基于移相干涉测量技术,研制的高精度内径及外径测量系统以一等量块作为标准,采用白光干涉定位、激光干涉测长与移相干涉技术相结合,实现精密圆柱件长轴外径及深孔内径的高精度非接触自动测量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱小平	中国计量科学研究院长度所精密测量实验室	29	142	6.0	11.0
2	杨自本	中国计量科学研究院长度所精密测量实验室	8	65	4.0	8.0
3	王蔚晨	中国计量科学研究院长度所精密测量实验室	17	98	5.0	9.0