非对称双极脉冲反应磁控溅射制备TiN/NbN多层膜

• 作者: 吕反修 徐俊波 李成明 陈良贤 黑立富
• 来源期刊: 材料工程
• 关键词: 纳米多层膜 力学性能 调制周期
• 年，卷（期）: 2012,（7）
• 所属期刊栏目: 表面工程
• 页码范围: 92-96
• 分类号: TB34
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-4381.2012.07.019

摘要

采用非对称双极脉冲磁控溅射制备了一系列不同调制周期的TiN /NbN纳米多层膜,利用X射线衍射分析(XRD)、纳米压痕仪、扫描电子显微镜(SEM)表征了薄膜的微观结构、力学性能和断口形貌.结果表明,在调制周期为19.86nm时,纳米压痕硬度达到43GPa.利用三点弯曲法形成裂纹的扩展,并观察到了裂纹的偏转特征.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吕反修	北京科技大学材料科学与工程学院	151	1208	18.0	24.0
2	黑立富	北京科技大学材料科学与工程学院	39	153	6.0	10.0
3	李成明	北京科技大学材料科学与工程学院	71	480	12.0	19.0
4	陈良贤	北京科技大学材料科学与工程学院	34	69	4.0	5.0
5	徐俊波	北京科技大学材料科学与工程学院	2	9	2.0	2.0