集成电极的PDMS-玻璃微流控芯片的制备

• 作者: 伍择希 刘武 吴校生 姜川 崔峰 张卫平 李金凤 陈俊杰 陈文元
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 集成电极 PDMS-玻璃 微流控芯片 生物芯片 聚合酶链式反应(PCR) 毛细管电泳(CE) ANSYS模拟
• 年，卷（期）: 2012,（1）
• 所属期刊栏目: 加工、测量与设备
• 页码范围: 56-61
• 分类号: TH703|O35
• 字数: 3156字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2012.01.010

摘要

微流控芯片在分析化学和生物检测方面有着广阔的应用前景.对集成电极的PDMS -玻璃微流控芯片的制备工艺进行了研究与分析.最终使用SU -8快速制备阳模,使用PDMS转移图形得到具有微流控通道的PDMS盖片；在玻璃基板上加工Pt电极,除了需要外露的部分电极外,其他部分以薄层PDMS保护,得到电极基板；将PDMS盖片与电极基板半固化键合制得同时具有加热和温度传导电极以及CE高压电极的PDMS -玻璃芯片.ANSYS模拟分析证明加热芯片热惯性小,加热时温度分布效果好.