热处理工艺参数对TiO2成膜性的影响

• 作者: 丁士华 宋天秀 张静 杨晓静 涂伟 王红妮
• 来源期刊: 西华大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 溶胶-凝胶 TiO2 锐钛矿结构 热处理工艺参数
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 所属期刊栏目: 材料科学
• 页码范围: 77-80
• 分类号: O484.4
• 字数: 2254字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-159X.2012.03.020

摘要

采用溶胶一凝胶法和旋涂工艺,以钛酸丁酯、冰乙酸、乙酰丙酮、无水乙醇、去离子水为原料,制取TiO2薄膜,研究热处理工艺对TiO2成膜性的影响,结果表明,获得均匀连续的TiO2薄膜的工艺参数为:匀胶转速为3000r/min;镀膜时预处理温度为80℃、预处理时间为10 min；室温至200℃阶段的烧结升温速率为0.5 ℃/min,高温阶段为3℃/min;经500℃烧结热处理后得到锐钛矿结构,薄膜晶粒尺寸均在30 ～80nm的范围之内.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	丁士华	西华大学材料科学与工程学院	111	243	8.0	10.0
2	宋天秀	西华大学材料科学与工程学院	88	200	7.0	10.0
3	张静	西华大学材料科学与工程学院	11	24	4.0	4.0
4	王红妮	西华大学材料科学与工程学院	5	6	2.0	2.0
5	杨晓静	西华大学能源与环境学院	11	55	3.0	7.0
6	涂伟	西华大学材料科学与工程学院	3	4	1.0	2.0