调幅式电容位移传感器的峰值检波电路设计

• 作者: 刘立丰 谭久彬 马标 黄向东
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 位移传感器 电容传感器 延迟反馈 相位延迟 峰值检波电路
• 年，卷（期）: 2012,（11）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 2444-2449
• 分类号: TP212.12
• 字数: 3226字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20122011.2444

摘要

针对调幅式电容位移传感器解调过程中由系统不确定相移导致的信号解调不准确问题,提出了一种基于改进的峰值保持电路的调幅式电容位移传感测量方法.首先,分析了调幅式电容位移传感器及其检测电路的工作原理,在研究调幅信号附加相移产生机理的基础上,提出了延迟反馈式峰值保持电路,用以去除附加相移对峰值解调的影响.然后,设计并制作了调幅式电容位移传感器,并对其各个性能指标进行了测试.最后,对实验结果和误差进行了分析.实验显示,提出的峰值保持电路的输出线性度优于0.05％,制作的传感器在0～25 μm内数据测量稳定性优于10 nm/30 min,传感器测量偏差最大值为36 nm.结果表明,采用延迟反馈型峰值保持电路有效地解决了系统不确定相移带来的峰值检波不准确的问题,所制作的电容传感器满足了高精度测量的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谭久彬	哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所	140	2284	28.0	42.0
2	黄向东	哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所	10	153	7.0	10.0
3	刘立丰	哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所	2	45	2.0	2.0
4	马标	哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所	1	34	1.0	1.0