MEMS微型热管研究进展

• 作者: 吴慧英 屈健 王谦
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微型热管 热控制 微型冷却器 毛细力 微电子机械系统(MEMS)
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 166-172,180
• 分类号: TH703
• 字数: 4274字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2012.03.006

摘要

MEMS微型热管作为一种新型的热管技术,在微电子、光电池、红外探测头和激光二极管等的热控制方面具有很大的应用前景.首先,介绍了MEMS微型热管的特点和基本工作原理,简单回顾了其发展历程.然后,从MEMS微型热管的加工制作方法、通道尺寸和总体结构特点出发,指出了其优势所在.在此基础上,综述了近年来微型槽道热管、微型毛细泵回路、微型回路热管和微型振荡热管等不同类型MEMS微型热管的研究进展.最后,总结了MEMS微型热管的发展趋势和实际应用所面临的挑战,指出降低制作成本、优化工质充注封装工艺、改进测试手段和加强运行机理研究是今后工作的重点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴慧英	上海交通大学机械与动力工程学院	57	342	11.0	16.0
2	王谦	江苏大学能源与动力工程学院	170	938	15.0	23.0
3	屈健	江苏大学能源与动力工程学院	22	129	6.0	10.0