FePt单层连续膜和颗粒膜的制备与磁性能研究

• 作者: 任玉平 李松 杨波 王建省 秦高梧 裴文利
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: 颗粒膜 L10-FePt 溅射参数
• 年，卷（期）: 2012,（13）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 1704-1707
• 页数: 4页
• 分类号: TQ58|TG14
• 字数: 1645字
• 语种: 中文

摘要

利用磁控溅射在不同Ar气压下制备了不同膜厚的FePt薄膜。利用透射电镜（TEM）研究了溅射气压和膜厚对薄膜形貌的影响，利用振动样品磁强计（VSM）研究了溅射气压和膜厚对薄膜磁性能的影响。结果表明溅射气压和膜厚对溅射态单层FePt薄膜的表面形貌、颗粒尺寸有很大影响。随着溅射气压的增大，颗粒尺寸减小，从连续膜转变成颗粒膜；随着膜厚的增加，颗粒尺寸变大，从颗粒膜变成连续膜。通过调节溅射气压可以控制FePt的岛状结构，从而获得较理想的FePt颗粒薄膜。溅射气压和膜厚对经过热处理的L10-FePt薄膜的磁性能有很大影响。随着溅射气压增加，形核场由正值转变成负值，矩形比有增大趋势；随着厚度的增加，无序-有序相转变更充分。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨波	东北大学材料各向异性与织构教育部重点实验室	38	152	6.0	10.0
2	裴文利	东北大学材料各向异性与织构教育部重点实验室	23	46	4.0	6.0
3	任玉平	东北大学材料各向异性与织构教育部重点实验室	44	131	7.0	9.0
4	秦高梧	东北大学材料各向异性与织构教育部重点实验室	43	95	5.0	8.0
5	李松	东北大学材料各向异性与织构教育部重点实验室	32	143	8.0	10.0
6	王建省	东北大学材料各向异性与织构教育部重点实验室	1	3	1.0	1.0